当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

干渉計とは?

こちらのページでは干渉計について原理等を説明します。

■垂直入射方式

FlatMaster MSPシリーズは、垂直入射方式のフィゾー干渉計です。

■独自のフリンジスキャン方式

FSI(Frequency scanning interferometry)

垂直入射式干渉計の殆どは、参照平面とサンプルとの距離(Gap)を変動させる事でフリンジスキャンを行う(1)Gap変動方式を採用していますが、FlatMaster MSPシリーズはレーザー光源の波長を微小変化させてフリンジスキャンを行う(2)FSI方式を採用しています。

 

Gap変動方式

・参照平面またはサンプルステージを上下方向に微小変化させる

・ピエゾ素子などを用いて0.1μm単位で変化させる

→平面度しか測れない。

FSI方式

・レーザーの波長を変化させて干渉縞に正弦波状の変調をかける

・MSPでは波長を796.3〜783.8nmまで0.1nm刻みで変化させる

→サンプルの平面度(平坦度)、平行度、高さ(厚み)、奥まった面の平面度(平坦度)が測定可能!!

■斜入射方式

CorningTropel社製品の大きな特長である「斜入射方式」は、測定面に対して斜めにレーザー光を照射します。照射されたレーザー光は、測定サンプル表面とプリズム表面で反射し、それぞれの反射光が互いに干渉し、干渉縞を生じます。この時、レーザー光の入射角度を周期的に微小変化させることによって、干渉縞の位置も変化します。この干渉縞の位置の変化をCCDカメラで捉え、独自の位相差解析手法(PMI法)により、測定サンプル表面の形状を高精度に測定します。

[干渉縞]

干渉縞は等高線図を表しています。一本の明るい、または暗い縞は高さが同じ場所を示しています。隣り合う縞の高低差は一定で、これをSensitivity(縞感度)と呼んでいます。この干渉縞をCCDピクセルで読み込んで、平面度(平坦度)を解析します。

[斜入射干渉計]

縞感度(Sensitivity)= λ/2cosθ (λ:レーザーの波長)

[フリンジスキャン]

A点とB点の高低差 Sensitivity×φ/360=分解能

[斜入射方式のフリンジスキャン法]

平行平面板を傾けると、上図のように光線が平行移動します。見かけ上、光源が矢印のように移動することになります。この原理により、入射角θが変化することによって、フリンジスキャンを行うことができます。

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