当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

平面度(平坦度) 測定機

FlatMaster

FlatMasterシリーズは、機械部品から半導体材料まで測定可能。 いずれも斜入射方式によりレーザー光を広げて照射し、 全面一括で高精度な測定をスピーディに行うことができます。 また、世界標準のNIST規格に準拠した校正原器を標準装備しており、 お客様ご自身で簡単にキャリブレーションを行うことができます。 そして、粗面から両面鏡面のサンプルまで測定可能です。 厚み30μmの透明基板を測定した実績が御座います。

FMの画像

平面度(平坦度) 測定機

FlatMaster

特 徴

【1】 全面一括高速測定

【2】 斜入射方式

【3】 世界標準のNISTトレーサブル

レーザー光を広げて、全面一括で測定を行います。 外乱に強く、安定した高精度測定が可能です。 また、測定時間も短く、5秒で結果を確認できます。

斜入射方式では、測定物からの反射率が高くなります。 鏡面だけでなく、研削・切削面の測定にも対応できます。

米国立標準技術研究所・NIST規格に準拠した、校正原器が標準装備です。 お客様ご自身で、キャリブレーションを行って頂けます。

特徴1: 詳しくはこちら

特徴2: 詳しくはこちら

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斜入射干渉計の縞感度については、メルマガ記事 「D-003. 縞感度の概要と式の導出」で紹介しています。

半導体材料において平面度が重視される理由は、メルマガ記事 「D-010. 焦点深度の式の導出」で紹介しています。

最近 FlatMater の強みとして注目されている測定領域に関するメルマガ記事は、 「B-020. 測定領域と測定データ」があります。

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