当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

平面度(平坦度) 測定機

FlatMaster

FlatMasterシリーズは、機械部品から半導体材料まで測定可能。 いずれも斜入射方式によりレーザー光を広げて照射し、 全面一括で高精度な測定をスピーディに行うことができます。 また、世界標準のNIST規格に準拠した校正原器を標準装備しており、 お客様ご自身で簡単にキャリブレーションを行うことができます。 そして、粗面から両面鏡面のサンプルまで測定可能です。 厚み30μmの透明基板を測定した実績が御座います。

FMの画像

平面度(平坦度) 測定機

FlatMaster

特 徴

【1】 全面一括高速測定

【2】 斜入射方式

【3】 世界標準のNISTトレーサブル

レーザー光を広げて、全面一括で測定を行います。 外乱に強く、安定した高精度測定が可能です。 また、測定時間も短く、5秒で結果を確認できます。

斜入射方式では、測定物からの反射率が高くなります。 鏡面だけでなく、研削・切削面の測定にも対応できます。

米国立標準技術研究所・NIST規格に準拠した、校正原器が標準装備です。 お客様ご自身で、キャリブレーションを行って頂けます。

⇒ 特徴1: 詳しくはこちら

特徴2: 詳しくはこちら

特徴3: 詳しくはこちら

平面度測定に時間がかかっていませんか?

平面度測定を、三次元測定機やレーザーで行うと1日かかるというお話しを聞くこともあります。

測定時間を短くしたいというご要望はございませんか?


干渉計による高速測定は、時間短縮だけでなく、精度向上にも有効です。

三次元測定機やレーザー式の測定機では、測りたい面から得られる情報は非常に限られています。

例えば、測定物1つで5点、10点しか測定していないというお話しを聞きます。 これは、測定点を増やすと測定時間がかかってしまうためです。 しかし、この場合得られたポイント以外の情報は全て捨ててしまう為、見逃しが発生します。


FlatMaster では、最大25万点のデータを5秒で取得します。

フィゾー干渉計であれば、全面を一括でサンプリングするため、短時間に測定が完了します。

測りたい面全面にレーザー光を一括で照射するため、データの取りこぼしがありません。 測定時間が短いため、振動など、外乱の影響を受けることなく、高精度測定が可能です。 また、測定者によって測定値や測定時間が変わることもありません。


是非デモ測定・サンプル測定をお試し下さい。

測定の簡便さをお試しいただくには、デモ測定・サンプル測定が有効です。 弊社にデモ機がございますので、是非お問合せ下さい。

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