当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

平面度(平坦度) 測定機

FlatMaster

FlatMasterシリーズは、機械部品から半導体材料まで測定可能。 いずれも斜入射方式によりレーザー光を広げて照射し、 全面一括で高精度な測定をスピーディに行うことができます。 また、世界標準のNIST規格に準拠した校正原器を標準装備しており、 お客様ご自身で簡単にキャリブレーションを行うことができます。 そして、粗面から両面鏡面のサンプルまで測定可能です。 厚み30μmの透明基板を測定した実績が御座います。

FMの画像

平面度(平坦度) 測定機

FlatMaster

特 徴

【1】 全面一括高速測定

【2】 斜入射方式

【3】 世界標準のNISTトレーサブル

レーザー光を広げて、全面一括で測定を行います。 外乱に強く、安定した高精度測定が可能です。 また、測定時間も短く、5秒で結果を確認できます。

斜入射方式では、測定物からの反射率が高くなります。 鏡面だけでなく、研削・切削面の測定にも対応できます。

米国立標準技術研究所・NIST規格に準拠した、校正原器が標準装備です。 お客様ご自身で、キャリブレーションを行って頂けます。

特徴1: 詳しくはこちら

⇒ 特徴2: 詳しくはこちら

特徴3: 詳しくはこちら

工程管理を1台の測定機で行いませんか?

工程毎に測定機を分けて使用していませんか? 工程毎に面状態の違う表面を測定するには、異なる測定機が必要となることがよくあります。


面状態が違っても、複数の測定機を使用する必要はありません。

工程によって、三次元測定機を使ったり、レーザーを使っていると、 測定機が異なってしまう為データの比較が困難です。 1台の測定機で、全工程を測定してみませんか?


FlatMasterでは、粗面〜鏡面の測定が可能です。

斜入射干渉計を利用し、レーザーの入射角を変更することにより 異なる面状態の測定が可能です。   1台で全ての面状態をカバーできるため、工程間のデータ比較が容易です。 測定値を見て、研磨条件の変更を素早く行うことが可能になります。


デモ測定で、様々な面の測定をお試し下さい。

弊社のデモ機で、貴社製品を測定してみて下さい。 様々な面状態の物をお持ち込み頂くことをお薦めします。 ご来社時には、斜入射干渉計の原理から測定方法、取得データのご説明を行います。

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