当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

平面度(平坦度) 測定機

FlatMaster

FlatMasterシリーズは、機械部品から半導体材料まで測定可能。 いずれも斜入射方式によりレーザー光を広げて照射し、 全面一括で高精度な測定をスピーディに行うことができます。 また、世界標準のNIST規格に準拠した校正原器を標準装備しており、 お客様ご自身で簡単にキャリブレーションを行うことができます。 そして、粗面から両面鏡面のサンプルまで測定可能です。 厚み30μmの透明基板を測定した実績が御座います。

FMの画像

平面度(平坦度) 測定機

FlatMaster

特 徴

【1】 全面一括高速測定

【2】 斜入射方式

【3】 世界標準のNISTトレーサブル

レーザー光を広げて、全面一括で測定を行います。 外乱に強く、安定した高精度測定が可能です。 また、測定時間も短く、5秒で結果を確認できます。

斜入射方式では、測定物からの反射率が高くなります。 鏡面だけでなく、研削・切削面の測定にも対応できます。

米国立標準技術研究所・NIST規格に準拠した、校正原器が標準装備です。 お客様ご自身で、キャリブレーションを行って頂けます。

特徴1: 詳しくはこちら

特徴2: 詳しくはこちら

⇒ 特徴3: 詳しくはこちら

「装置の校正は定期点検時に行ってもらえますか?」

こんなご質問をよくいただきます。


年1回の校正では、装置の不具合を見逃してしまうかもしれません。

校正はメーカーによる年1回の定期点検時のみ、ということはよくあります。 しかし、それでは装置の測定感度などがズレてしまった場合に気付くことができません。 結果として、異なる数値の平面度データを信じて製品を出荷してしまいます。


FlatMasterでは、校正原器が標準装備です。

米国認証機関NIST規格に準拠した校正原器が付属しています。 NISTで認証された窪みを持つ原器を使用し、お客様ご自身で毎日校正することが可能です。


毎日の校正が高精度測定を保証します。

装置の校正は3分で完了します。 毎日3分作業するだけで、常に高精度な測定を行っていることが保証されます。 デモ測定にて実際にお試しいただくことが可能ですので、是非お越し下さい。


【装置に付属する校正原器】

校正原器の形状プロット図

低膨張ガラス(熱膨張率: -0.2×10-6/℃)を採用し、剛性の高い形状。

NISTで認証された一定のくぼみを持つ。



【NIST トレーサビリティ】

校正原器の証明書

トレーサビリティのチャート

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