当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

平面度(平坦度) 測定機

FlatMaster

FlatMasterシリーズは、機械部品から半導体材料まで測定可能。 いずれも斜入射方式によりレーザー光を広げて照射し、 全面一括で高精度な測定をスピーディに行うことができます。 また、世界標準のNIST規格に準拠した校正原器を標準装備しており、 お客様ご自身で簡単にキャリブレーションを行うことができます。 そして、粗面から両面鏡面のサンプルまで測定可能です。 厚み30μmの透明基板を測定した実績が御座います。

FMの画像

平面度(平坦度) 測定機

FlatMaster

原 理

【1】 斜入射方式

FMの原理図1
FMの原理図2

干渉縞は等高線図を表しています。 一本の明るい、または暗い縞は高さが同じ場所を示しています。 隣り合う縞の高低差は一定で、これをSensitivity(縞感度)と呼んでいます。 この干渉縞をCCDピクセルで読み込んで、平面度(平坦度)を解析します。

縞感度(Sensitivity)= λ/2cosθ (λ:レーザーの波長)

【2】 フリンジスキャン

FMの原理図3
FMの原理図4

A点とB点の高低差 Sensitivity×φ/360=分解能

平行平面板を傾けると、上図のように光線が平行移動します。 見かけ上、光源が矢印のように移動することになります。 この原理により、入射角θが変化することによって、フリンジスキャンを行うことができます。

原理: 詳しくはこちら

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