当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

斜入射干渉計 平面度測定機

FlatMaster Series

FlatMasterシリーズは、機械部品から半導体材料まで測定可能。 いずれも斜入射方式によりレーザー光を広げて照射し、 全面一括で高精度な測定をスピーディに行うことができます。 また、世界標準のNIST規格に準拠した校正原器を標準装備しており、 お客様ご自身で簡単にキャリブレーションを行うことができます。 そして、粗面から両面鏡面のサンプルまで測定可能です。 厚み30μmの透明基板を測定した実績が御座います。

斜入射干渉計
平面度測定機

FlatMaster

仕 様

 
測定原理 斜入射干渉計
機種名 FM40 FM100XRA FM200XRA
Zoom追従範囲 3.8~40mm 20~100mm 40~200mm
測定波長 半導体レーザー
(670nm)
半導体レーザー
(635nm)
Sensitivity 3μm/fringe 1.5〜8μm/fringe
最大測定データ
ポイント
約25万点
測定分解能 0.01μm
測定精度
(Accuracy)
0.10μm以下
繰り返し精度
(Repeatability)
0.025μm(1σ)以下
測定解析時間 12.5秒

最新の仕様は、エスオーエル株式会社 にお問い合わせ下さい。

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