当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

平面度・平行度・高さ 測定機

FlatMaster MSP

平面度(平坦度)・平行度・高さ(厚み)の測定に特化した測定機です。 サンプル径に応じてMSP40(〜φ36mm用)、MSP150(〜φ150mm用)、MSP300(〜φ300mm用)があります。 高さの異なる複数面の平面度(平坦度)を一括測定。 半導体ウェーハ、CVD用サセプター、水晶基板、ナノインプリント等の半導体分野や、 時計、モーター、スクロールコンプレッサー等機械分野での使用実績も増えてきています。

FM-MSPの画像

平面度・平行度・高さ 測定機

FlatMaster MSP

特 徴

【1】 全面一括高速測定

【2】 高さ測定

【3】 研削面〜鏡面の測定

レーザー光を広げて、全面一括で測定を行います。 約60秒で400万ポイント(MSP300)という、圧倒的なデータ数で詳細な面状態の測定は可能です。

垂直入射方式により、段差のある測定物の、それぞれの面を測定可能です。(最大300mmまでの深さ)

鏡面だけでなく、研削・切削面までの非鏡面の測定も可能です。

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