当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

平面度・平行度・高さ 測定機

FlatMaster MSP

平面度(平坦度)・平行度・高さ(厚み)の測定に特化した測定機です。 サンプル径に応じてMSP40(〜φ36mm用)、MSP150(〜φ150mm用)、MSP300(〜φ300mm用)があります。 高さの異なる複数面の平面度(平坦度)を一括測定。 半導体ウェーハ、CVD用サセプター、水晶基板、ナノインプリント等の半導体分野や、 時計、モーター、スクロールコンプレッサー等機械分野での使用実績も増えてきています。

FM-Raの画像

平面度・平行度・高さ 測定機

FlatMaster MSP

原 理

【1】 垂直入射方式

FM-MSPの原理図

FlatMaster MSP シリーズは、垂直入射方式のフィゾー干渉計です。

【2】 新開発のフリンジスキャン

FM-MSPのフリンジスキャン図

FSI(Frequency scanning interferometry)
垂直入射式干渉計の殆どは、参照平面とサンプルとの距離(Gap)を変動させる事でフリンジスキャンを行う(1)Gap変動方式を採用していますが、FlatMaster MSPシリーズはレーザー光源の波長を微小変化させてフリンジスキャンを行う(2)FSI方式を採用しています。

⇒ 原理: 詳しくはこちら

FSI方式 とは

・レーザーの波長を変化させて干渉縞に正弦波状の変調をかける
 ・MSPでは波長を796.3〜783.8nmまで0.1nm刻みで変化させる
 →サンプルの平面度(平坦度)、平行度、高さ(厚み)、奥まった面の平面度(平坦度)が測定可能!!


一般的な Gap変動方式 では...

・参照平面またはサンプルステージを上下方向に微小変化させる
 ・ピエゾ素子などを用いて0.1μm単位で変化させる
 →平面度しか測れない。



FSI方式 による高さ測定

独自のフリンジスキャン法FSI方式を採用する事によって、 奥まった面の平面度(平坦度)測定及び、高さ(段差)の測定を可能にしました。
取得特許数はなんと11件!



FM-MSPのフリンジスキャン図詳細1

  光路長 [μm] 光路長÷波長 明暗サイクル
λ=1μm λ=0.67μm
A点 2 2 3 1
B点 10 10 15 5
C点 20 20 30 10


FM-MSPのフリンジスキャン図詳細2
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