当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

平面度・平行度・高さ 測定機

FlatMaster MSP

平面度(平坦度)・平行度・高さ(厚み)の測定に特化した測定機です。 サンプル径に応じてMSP40(〜φ36mm用)、MSP150(〜φ150mm用)、MSP300(〜φ300mm用)があります。 高さの異なる複数面の平面度(平坦度)を一括測定。 半導体ウェーハ、CVD用サセプター、水晶基板、ナノインプリント等の半導体分野や、 時計、モーター、スクロールコンプレッサー等機械分野での使用実績も増えてきています。

FM-MSPの画像

平面度・平行度・高さ 測定機

FlatMaster MSP

原 理

【1】 垂直入射方式

FM-MSPの原理図

FlatMaster MSP シリーズは、垂直入射方式のフィゾー干渉計です。

【2】 新開発のフリンジスキャン

FM-MSPのフリンジスキャン図

FSI(Frequency scanning interferometry)
垂直入射式干渉計の殆どは、参照平面とサンプルとの距離(Gap)を変動させる事でフリンジスキャンを行う(1)Gap変動方式を採用していますが、FlatMaster MSPシリーズはレーザー光源の波長を微小変化させてフリンジスキャンを行う(2)FSI方式を採用しています。

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