当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

平面度・平行度・高さ 測定機

FlatMaster MSP

平面度(平坦度)・平行度・高さ(厚み)の測定に特化した測定機です。 サンプル径に応じてMSP40(〜φ36mm用)、MSP150(〜φ150mm用)、MSP300(〜φ300mm用)があります。 高さの異なる複数面の平面度(平坦度)を一括測定。 半導体ウェーハ、CVD用サセプター、水晶基板、ナノインプリント等の半導体分野や、 時計、モーター、スクロールコンプレッサー等機械分野での使用実績も増えてきています。

FM-MSPの画像

平面度・平行度・高さ 測定機

FlatMaster MSP

事 例

 
研磨量 段差
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