当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

垂直入射干渉計
平面度・平行度・段差測定機

FlatMaster MSP Series

平面度(平坦度)・平行度・高さ(厚み)の測定に特化した測定機です。 サンプル径に応じてMSP40(〜φ36mm用)、MSP150(〜φ150mm用)、MSP300(〜φ300mm用)があります。 高さの異なる複数面の平面度(平坦度)を一括測定。 半導体ウェーハ、CVD用サセプター、水晶基板、ナノインプリント等の半導体分野や、 時計、モーター、スクロールコンプレッサー等機械分野での使用実績も増えてきています。

垂直入射干渉計
平面度・平行度・段差測定機
FlatMaster MSP

仕 様

 
測定原理 垂直入射干渉計
機種名 MSP40 MSP150 MSP300
最大測定範囲 φ40mm φ150mm φ300mm
最大測定高さ 40mm 60mm 300mm
測定波長 AlGaAs半導体レーザー
測定データポイント 約78万5千点 約400万点
測定分解能 0.01μm
測定精度
(Accuracy)
平面度 0.060μm
平行度 0.100μm
深さ 0.250μm
繰り返し精度
(Repeatability)
平面度 0.02μm
平行度 0.025μm
深さ 0.100μm
測定時間 30~60秒

最新の仕様は、エスオーエル株式会社 にお問い合わせ下さい。

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