当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

非接触 粗さ測定機

FlatMaster Ra

非接触の粗さ測定機です。白色光干渉計によって、粗さを面で捉えることができます。 そのため、ラインによる2次元測定では得ることができなかった3次元の解析により、 粗さから生じる面の機能や性能をコントロールすることができるようになります。

また、独自の機構により、 素早く、様々な面状態や厚みのウェーハも測定することが可能です。 測定者によって精度や測定時間に差が出ません。

FM-Raの画像

非接触 粗さ測定機

FlatMaster Ra

特 徴

【1】 簡単セッティング

【2】 幅広い面状態に対応

【3】 厚みに関係なく連続測定

従来の白色干渉計は、フォーカス合わせに非常に時間を要しました。 その不便さを濁すために、「オートフォーカス搭載」という宣伝文句が広まっています。 FlatMaster Ra は、この不便さの本質を突き、見事に解決しています。

従来の白色干渉計では、切削・研削後 のウェーハの干渉縞はすぐに見失ってしまいます。 FlatMaster Ra は、切削・研削後のウェーハの加工痕や粗さから、鏡面ウェーハの粗 さ測定が測定できます。

半導体ウェーハには、材質や工程によって様々な厚みのものがあります。 FlatMaster Ra は、段取り替えをすることなく、厚みの異なるウェーハを連続的に測定することができます。

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「白色光干渉計は、フォーカス合わせに時間がかかる。」

半導体ウェーハの現場では、そんな声をよく耳にします。

通常の白色光干渉計では、干渉縞が出る位置を時間をかけて探し当ててから、測定を開始する必要があります。

その際、人の目もしくは何らかの機能を使用します。


フォーカスの合う位置=干渉縞が出る位置を探すのは大変。

白色光干渉計の場合、フォーカスの合う範囲は、わずか 3μm です。

人の目でステージを縦に送りながらその 3μm を探すのは至難の業です。


そのオートフォーカス機能、本当にオートフォーカスですか?

白色光干渉計のフォーカス合わせを自動で行う何らかの機能をオートフォーカス機能と呼ぶことが多くなっています。

しかし、一般の人がイメージするオートフォーカスと白色光干渉計のオートフォーカス機能が 大きくかけ離れている事実を認識する必要があります。

カメラや、高度な光学機器に搭載されているオートフォーカスは、動作速度や動作範囲といった仕様が明確です。

オートフォーカスという言葉は、カメラでピントがパッと合うイメージが先行して、 白色光干渉計のフォーカス合わせの原理的な難しさを濁しているのです。

例えフォーカス合わせを自動で行う機能があったとしても、 長いストロークを縦に送りながら一瞬現れる 3μm のレンジを探す動作は、 通常イメージするオートフォーカスとは別物なのです。


FlatMaster-Raでは、ステージの下にセンサーが上向きに配置されています。

測定物をステージに下向きにセッティングします。この際、測定面とセンサーの距離は常に一定 になります。これを、プリフォーカスと呼び、干渉縞が出るフォーカス位置の±2个帽腓錣擦 ある状態です。あとは±2mmの距離を自動でスキャンし、測定するのみです。

FM-Raの概略図

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