当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

非接触 粗さ測定機

FlatMaster Ra

非接触の粗さ測定機です。白色光干渉計によって、粗さを面で捉えることができます。 そのため、ラインによる2次元測定では得ることができなかった3次元の解析により、 粗さから生じる面の機能や性能をコントロールすることができるようになります。

また、独自の機構により、 素早く、様々な面状態や厚みのウェーハも測定することが可能です。 測定者によって精度や測定時間に差が出ません。

FM-Raの画像

非接触 粗さ測定機

FlatMaster Ra

特 徴

【1】 簡単セッティング

【2】 幅広い面状態に対応

【3】 厚みに関係なく連続測定

従来の白色干渉計は、フォーカス合わせに非常に時間を要しました。 その不便さを濁すために、「オートフォーカス搭載」という宣伝文句が広まっています。 FlatMaster Ra は、この不便さの本質を突き、見事に解決しています。

従来の白色干渉計では、切削・研削後 のウェーハの干渉縞はすぐに見失ってしまいます。 FlatMaster Ra は、切削・研削後のウェーハの加工痕や粗さから、鏡面ウェーハの粗 さ測定が測定できます。

半導体ウェーハには、材質や工程によって様々な厚みのものがあります。 FlatMaster Ra は、段取り替えをすることなく、厚みの異なるウェーハを連続的に測定することができます。

特徴1: 詳しくはこちら

⇒ 特徴2: 詳しくはこちら

特徴3: 詳しくはこちら

研削後のウェーハの粗さも、傷付けることなく非接触式測定機で測定したい。

このようなご要望を耳にすることが増えてきました。 様々な面状態のウェーハが求められるようになり、加工条件を厳しく管理したいという ご要望が増えているためです。


通常の白色干渉計では、測定物の面状態が変わると、段取り替えが大変。

その都度、干渉縞が見える位置を、目視または何らかの機能で探す必要があるのです。 切削・研削後 のウェーハでは、干渉縞のコントラストが低下し、目視では干渉縞を見失いがちです。 自動でスキャンしてフォーカスを探すにしても時間が掛かります。


FlatMaster-Raでは、測定物の面状態が変わっても、面倒な段取り替え不要です。

測定物をステージに置いた瞬間にプリフォーカス状態になります。 ±2mmの距離にフォーカスの合う位置があるので、あとはその距離を自動でスキャンするのみです。

FM-Raの概略図

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