当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

非接触 粗さ測定機

FlatMaster Ra

非接触の粗さ測定機です。白色光干渉計によって、粗さを面で捉えることができます。 そのため、ラインによる2次元測定では得ることができなかった3次元の解析により、 粗さから生じる面の機能や性能をコントロールすることができるようになります。

また、独自の機構により、 素早く、様々な面状態や厚みのウェーハも測定することが可能です。 測定者によって精度や測定時間に差が出ません。

FM-Raの画像

非接触 粗さ測定機

FlatMaster Ra

原 理

【1】 白色光干渉計

FM-Raの原理図

ミラウ型の対物レンズを搭載した、白色光干渉計を採用しています。

【2】 フリンジスキャン

FM-Raのフリンジスキャン図

干渉を起こす位置は、参照面 と測定面の距離(光路長)が一致した場所です。その範囲は3μmです。 白色光干渉計以外では、位相接続(Phase unwrap)の問題で、粗さ測定には適しません。

⇒ 原理: 詳しくはこちら

位相接続(Phase unwrap)とは

干渉縞は、白と黒のパターンです。これを等高線として高さ情報に直す操作 のことを「位相接続(Phase unwrap)」と呼びます。 フリンジスキャンとして位相シフト法を用いた場合、白と黒のパターンが連続的に変化しなければ、 正しく高さ情報につなぎ直すことができません。
この問題を解決するのが、白色光干渉計です。
特に、粗さを測定する場合、 フィゾー干渉計で白と黒のパターンが連続的に変化するという条件が当てはまらないのが普通です。 そのため、白色光干渉計の原理が必要となるのです。

装置概要 に戻る

トップへ戻る