当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

非接触 粗さ測定機

FlatMaster Ra

非接触の粗さ測定機です。白色光干渉計によって、粗さを面で捉えることができます。 そのため、ラインによる2次元測定では得ることができなかった3次元の解析により、 粗さから生じる面の機能や性能をコントロールすることができるようになります。

また、独自の機構により、 素早く、様々な面状態や厚みのウェーハも測定することが可能です。 測定者によって精度や測定時間に差が出ません。

FM-Raの画像

非接触 粗さ測定機

FlatMaster Ra

原 理

【1】 白色光干渉計

FM-Raの原理図

ミラウ型の対物レンズを搭載した、白色光干渉計を採用しています。

【2】 フリンジスキャン

FM-Raのフリンジスキャン図

干渉を起こす位置は、参照面 と測定面の距離(光路長)が一致した場所です。その範囲は3μmです。 白色光干渉計以外では、位相接続(Phase unwrap)の問題で、粗さ測定には適しません。

原理: 詳しくはこちら

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