当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

非接触 粗さ測定機

FlatMaster Ra

非接触の粗さ測定機です。白色光干渉計によって、粗さを面で捉えることができます。 そのため、ラインによる2次元測定では得ることができなかった3次元の解析により、 粗さから生じる面の機能や性能をコントロールすることができるようになります。

また、独自の機構により、 素早く、様々な面状態や厚みのウェーハも測定することが可能です。 測定者によって精度や測定時間に差が出ません。

FM-Raの画像

非接触 粗さ測定機

FlatMaster Ra

仕 様

 
測定原理 ミラウ型 白色光干渉計
高さ分解能 0.01 nm
測定項目 Ra, Rt, Sa, St, など
繰り返し精度 0.02 nm 以下 (1σ)
測定時間 約 30 秒
データ数 最大 約 100万 点
 
対物レンズ 超広視野 広 視 野  標 準  高分解能 超高分解能
倍率 2.5 X 10 X 20 X 50 X 100 X
視野 (mm) 3.2 0.8 0.4 0.16 0.08
横分解能 (μm) 3.84 0.96 0.48 0.192 0.096
開口数 (NA) 0.075 0.3 0.4 0.55 0.7
作動距離 (mm) 10.3 7.4 4.7 3.4 2.0

最新の仕様は、エスオーエル株式会社 にお問い合わせ下さい。

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