当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

フォトマスク専用 平面度 測定機

UltraFlat

UltraFlat Seriesは、垂直入射に近い斜入射干渉計採用により、高感度な縞感度(Sensitivity : 0.4μm/fringe)を実現した、 超高平面度(平坦度)フォトマスク測定解析装置です。

UltraFlatの画像

フォトマスク専用 平面度 測定機

UltraFlat

特 徴

【1】 高感度な Sensitivity

【2】 世界最高水準の保証精度

【3】 業界標準機

垂直入射に近い斜入射干渉計採用により、Sensitivity 0.4μm/fringeを実現しました。 外部環境に強く、より高精度な測定が可能です。

Uncertainty : 30nm(λ/40)、20nm(λ/100)

コーティング付きマスクおよび、ペリクル付きマスクの測定が可能です。

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