当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

フォトマスク専用 平面度 測定機

UltraFlat

UltraFlat Seriesは、垂直入射に近い斜入射干渉計採用により、高感度な縞感度(Sensitivity : 0.4μm/fringe)を実現した、 超高平面度(平坦度)フォトマスク測定解析装置です。

UltraFlatの画像

フォトマスク専用 平面度 測定機

UltraFlat

原 理

【1】 斜入射方式

FMの原理図1
FMの原理図2

干渉縞は等高線図を表しています。 一本の明るい、または暗い縞は高さが同じ場所を示しています。 隣り合う縞の高低差は一定で、これをSensitivity(縞感度)と呼んでいます。 この干渉縞をCCDピクセルで読み込んで、平面度(平坦度)を解析します。

縞感度(Sensitivity)= λ/2cosθ (λ:レーザーの波長)

【2】 フリンジスキャン

FMの原理図3
FMの原理図4

A点とB点の高低差 Sensitivity×φ/360=分解能

平行平面板を傾けると、上図のように光線が平行移動します。 見かけ上、光源が矢印のように移動することになります。 この原理により、入射角θが変化することによって、フリンジスキャンを行うことができます。

原理: 詳しくはこちら

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