当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

フォトマスク専用 平面度 測定機

UltraFlat

UltraFlat Seriesは、垂直入射に近い斜入射干渉計採用により、高感度な縞感度(Sensitivity : 0.4μm/fringe)を実現した、 超高平面度(平坦度)フォトマスク測定解析装置です。

UltraFlatの画像

フォトマスク専用 平面度 測定機

UltraFlat

事 例

 
フォトマスク測定事例
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