当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

超高平面度(平坦度)フォトマスク
測定解析装置

UltraFlat

UltraFlat Seriesは、10年の歴史を持つフォトマスク専用測定機です。業界標準機として使用いただいております。
 垂直入射に近い斜入射干渉計採用により、高感度な縞感度(Sensitivity : 0.4μm/fringe)を実現した、 超高平面度(平坦度)フォトマスク測定解析装置です。

UltraFlatの画像

超高平面度(平坦度)フォトマスク
測定解析装置

UltraFlat

仕 様

 
測定原理 斜入射干渉計
光源 He-Neレーザー
測定エリア 6”角(6025)
測定種類 ポリッシュ品のみ
(素ガラス及びコーティングマスク)
※UF opt2はペリクル付きマスクも可
マスクの平面度 30nm
トータル測定精度
(TIR=30nm基板測定時)
6nm(λ/100+map)
縞感度 0.4μm/fringe(38°)
解析項目 SEMI規格に適合

最新の仕様は、エスオーエル株式会社 にお問い合わせ下さい。

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