当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

自動搬送機付き 平面度 測定機

UltraSort

UltraSortは、カセットからカセットへのウェーハ搬送と ユーザー設定が可能なソート機能を有する ウェーハ自動搬送機付きの平面度(平坦度)測定解析装置です。

UltraSortの画像

自動搬送機付き 平面度 測定機

UltraSort

特 徴

【1】 自動搬送

【2】 厚み測定も可能

【3】 実績14年の歴史

カセットをセットしレシピを選ぶだけでカセットからカセットへ自動搬送しながら測定します。

平面度だけでなく、厚みやエッジロールオフの測定もオプション追加により可能です。 また、お客様のニーズに合わせて、高スループットも実現可能です。 搭載カセット数は、4,8,12,16カセットから選択いただけます。

初号機発売から14年です。 搬送ロボットと干渉計を含め、システム全体を全て弊社でメンテナンスしてきました。 化合物半導体業界標準機として国内外で稼働中です。 搬送ロボットと干渉計を1つのソフトウェアが制御し、信頼性の高いシステムに仕上がっています。

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