当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

自動搬送機付き
ウェーハ平面度(平坦度)測定機

UltraSort

UltraSortは、10年以上の歴史を持つウェーハ専用自動測定機です。 お客様のニーズに合わせて、 カセットからカセットへのウェーハ搬送や ユーザー設定が可能なソート機能を有する、 ウェーハ自動搬送機付きの平面度(平坦度)測定解析装置です。

自動搬送機付き
ウェーハ平面度(平坦度)測定機

UltraSort

仕 様

 
測定原理 斜入射干渉計
機種名 UltraSort UltraSortII
測定波長 半導体レーザー(635nm)
搭載可能
カセット数
4カセット 8, 12, 16カセット
から選択可能
Sensitivity 3μm/fringe 1.5〜8μm/fringe
最大測定データ
ポイント
約25万点
測定分解能 0.01μm
測定精度
(Accuracy)
0.15μm
繰り返し精度
(Repeatability)
0.025μm(1σ)
スループット ・90枚/h (吸着・非吸着)
・60枚/h (吸着・非吸着・厚み)
・140〜150枚/h (吸着・非吸着)
・120枚/h (吸着・非吸着・厚み)

最新の仕様は、エスオーエル株式会社 にお問い合わせ下さい。

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