当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

加工痕(微小うねり)測定事例

「平面度」という大きな波長成分と、「粗さ」という小さな波長成分の中間に「微小うねり」があります。 この微小うねりで、加工痕を測定し研削などのプロセス改善にご利用頂けます。測定例は金属ブロックです。

【金属ブロックのうねり測定データ(2Dプロット、3Dプロット、X断面、Y断面)】

金属ブロック測定データ

【同じブロックの表面形状データ】

同じウェーハのTTVデータ
どの波長成分を表示させるかによって、得られるデータはこれほど変わります。

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