当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

半導体ウェーハ

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吸着(TTV,LTV) 非吸着(SORI,BOW,WARP) 透明基板
研磨量分布、膜厚分布 パターン付き基板 加工痕(微小うねり)
結晶欠陥の深さ 粗さ(鏡面〜粗面) 粗さ(Ltウェーハ裏面)
粗さ(Ltウェーハ表面) パターン付きウェーハ

フラットネス(平面度、平坦度)測定のご相談を承ります。「粗さ」や「うねり」の測定もご提案できます。

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