当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

吸着測定事例

FlatMasterシリーズならTTV(GBIR)やLTV(SBIR)などSEMI規格の測定項目全て対応可能です。 また同じウェーハの測定値でも測定時の取得領域によって多少のばらつきが出ます。この対策として FlatMasterシリーズは測定領域を自動表示させる機能を加えました。

【TTV測定データ(2Dプロット、3Dプロット、X断面、Y断面)】

TTV測定データ

【LTVサイト解析データ】

LTVサイト解析データ
LTVは緑が良品、赤が不良品です。サイトサイズや閾値は任意設定可能。

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