当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

非吸着測定事例

FlatMasterシリーズならSORI、BOW、WARPとSEMI規格の測定項目全て対応可能です。 また縞感度を3段階に切り替える機能により、SORIが大きなウェーハ、例えば4インチで200um以上の SORIは測定実績があります。

【SORI測定データ(2Dプロット、3Dプロット、X断面、Y断面)】

SORI測定データ

【約250umのSORI測定データ】

SORI測定データ
縞感度を8um/fringeに設定。

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