当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

研磨量分布・膜厚分布測定事例

FlatMaster-MSPならZ(高さ)方向繰り返し精度で全面一括測定が出来る為、研磨量分布や膜厚分布の 測定に有効です。 例えば研磨量分布なら、研磨前と研磨後をそれぞれ測定し、全面の差分データを出力します。

【研磨量分布測定データ】

研磨量分布測定データ

【研磨前TTVと研磨後TTV】

研磨前TTV 研磨前TTV
研磨後TTV 研磨後TTV
研磨の前と後で測定し、その差分を表示させる事で全面の研磨量分布が得られます。

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