当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

加工痕(微小うねり)測定事例

「平面度」という大きな波長成分と、「粗さ」という小さな波長成分の中間に「微小うねり」が あります。この微小うねりで、加工痕を測定し研削などのプロセス改善にご利用頂けます。

【微小うねり測定データ(2Dプロット、3Dプロット、X断面、Y断面)】

微小うねり測定データ

【同じウェーハのTTVデータ】

同じウェーハのTTVデータ
どの波長成分を表示させるかによって得られるデータはこれほど変わります。

該当製品

お問い合わせ
トップへ戻る