当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

結晶欠陥の深さ測定事例

結晶が欠けている等の欠陥有無の確認に、FlatMaster-Raという粗さ測定機が使われています。

【粗さデータ(2Dプロット、X断面、数値表示】

粗さデータ

使用レンズ = 50x, 測定視野 = 0.2 mm

【同じウェーハのTTVデータ】

TTVデータ
鏡面加工後に前工程で残ったキズの有無や、深さ等を測定するのに最適です。

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