当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

粗さ(Ltウェーハ裏面)測定事例

FlatMaster-Raという粗さ測定機は、アズスライス、ラップ、ポリッシュ全ての工程でお使い頂けます。 機構を工夫したことで、粗面では特に大変な縞探を簡単に出来るようになりました。

【粗さデータ(2Dプロット、X断面、数値表示】

粗さデータ

使用レンズ = 50x, 測定視野 = 0.2 mm

【LTウェーハの裏面測定例】

LTウェーハ
粗い面の測定も、鏡面同様にウェーハをセットしてから約30秒で測定出来ます。

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