当社は埼玉県に本社をおく、測定機の "エスオーエル株式会社" です。 同名あるいは類似の企業名にご注意下さい。

パターン付きウェーハ測定事例

FlatMaster-Raという粗さ測定機は、アズスライス、ラップ、ポリッシュ全ての工程でお使い頂けます。 機構を工夫したことで、粗面では特に大変な縞探を簡単に出来るようになりました。

【粗さデータ(2Dプロット、X断面、数値表示】

粗さデータ

使用レンズ = 10x, 測定視野 = 1.0 mm

【パターン付きウェーハの構造解析】

パターン付きウェーハ
パターン面の構造解析、不良解析等に如何でしょうか?

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