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三次元測定機VideoCheckとその他取り扱い測定機

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「三次元測定機って何なの？」
2010年1月20日号　VOL.005

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
三次元測定機やアプリケーション例について学んだことなどをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

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皆さん、こんにちは。
早いもので、2010年1月も、終盤になりましたね。

年明けの今回は、三次元測定機VideoCheckを始めとした、
弊社取り扱い測定機の代表的ラインナップをご紹介をさせて頂くことで、
それぞれの測定機の特徴や特性をまとめたいと思います。



①VideoCheck(ビデオチェック)

　・ドイツWerth(ベアト)社の三次元測定機です。

　・測定精度は、E3:0.75+L/500(um)、
　　つまり三次元方向に動いても、サブミクロンの保証が出来ます。
　　（単に2点間の距離を保証する場合は、測定精度は、E1:0.15+L/900です！）

　・マルチセンサー式で、
　　画像処理センサー、レーザープローブ、接触式センサー等、
　　数あるセンサーの中から、必要なものをお選び頂いて搭載します。

　・特にファイバープローブという、
　　最小径20umで接触圧がほぼゼロのプローブは、
　　変形しやすいサンプルや微小形状の測定に最適です。

　・高精度を求められる、研究開発用途に最適な装置です！



②TomoScope(トモスコープ)

　・ドイツWerth(ベアト)社のX線CT搭載三次元測定機です！
　　
　・世界唯一、CTスキャンで寸法精度MPE E3=(4.5+L/75)umを保証出来ます。

　・数100万点というデータ数に加え、CADとのフィッティング解析も行いますので、
　　視覚的にも分かり易い装置です。

　・上記VideoCheck同様、マルチセンサー式ですので、
　　お好きなプローブを搭載させることが出来ます。

　・今まで27時間かかっていた複雑形状の測定を、わずか45分で解析まで
　　行った実績があります！！

　・特に測定ポイント100点以上のプラスチック製品の測定を担当されている方！
　　是非一度TomoScopeで測定時間の短縮化・効率化を体感してみて下さい！！



③FlatMaster MSP(フラットマスター エムエスピー)

　・米国CorningTropel社の最新装置です！

　・平面度、平行度に加えて、高さも測定出来ます！

　・スクロールコンプレッサーや燃料電池セパレーター等の段差のあるサンプルに
　　オススメです。

　・独自の周波数解析により、最大60mmの段差まで測定可能です。

　・78万点のデータを約30秒で測定・解析します。

　・高さ方向分解能は平面度で0.001um、平行度と高さで0.01umです。



④FlatMaster(フラットマスター)

　・米国CorningTropel社の平面度測定機で、弊社の売れ筋No.1です！

　・被測定物は、フォトマスク、ウェーハ、自動車部品、シール部品、
　　油圧部品、ハードディスク部品等さまざまです。

　・ウェーハならアズスライスからポリッシュ後まで、1台で幅広く
　　ご利用頂けます。

　・透明品やSORIの大きなウェーハにも対応可能です。

　・レーザーによる全面一括測定ですので、測定時間はわずか10秒！
　　サンプルを置いて、ワンクリックするだけです。

　・測定精度は0.10um以下、分解能は0.01umです。



以上、今回は三次元測定機VideoCheckを始めとした、
弊社取り扱い測定機ラインアップのご説明をさせて頂きました。


お客様の求められている測定精度や測定スピード、サンプルの特徴によって、
最適な測定機も変わってきます。

その中でも三次元測定機は、その汎用性や機能面で、
幅広くお役立て頂ける測定機だと思います。

弊社VideoCheckは、他にはない機能がたくさんあります！



今回ご紹介した装置は、弊社にデモ機を御用意していますので、
実機をご覧頂いて、最適な測定方法をご提案させて頂きたいと思います！



是非一度、弊社エスオーエルに御相談下さい。


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A.T