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三次元測定機で厚み測定

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「高鍋鮎美の三次元測定機って何なの？」
2010年4月20日号　VOL.008

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
三次元測定機やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

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皆さん、こんにちは。

先週4/15、16にパシフィコ横浜で開催されましたMEDTEC JAPANは
お陰様でたくさんのお客様にお越し頂きました。
ありがとうございました。



展示会場で多かったご相談に、
「金属の表面に膜を貼っていて、その厚み測定を短時間で精度よく測りたい」
というご要望がありました。

断面切断し、三次元測定機の接触式や画像センサー等を組み合わせて、
時間と手間をかけて測定していらっしゃるようです。

そこで今回は、Werth社独自のCFPという
簡単に非破壊で厚みを測定するプローブをご紹介したいと思います。




＊CFP(Chromatic Focus Probe)


CFPとは「色収差プローブ」のことです。


原理を簡単にご説明すると、

このプローブは白色光をレンズに通して色収差を使うことで測定します。
白色光とは、赤、オレンジ、黄、緑、青、藍、青紫といった単色光が
混合した光です。

それぞれの光は一定の波長を持っています。

サンプルにこの白色光を当てると、
混在したそれぞれの単色光が、その波長によって異なる焦点を持ちます。

さまざまな波長がありますので、
例えば金属に膜を貼ったサンプルを測定した場合、

ある単色光はサンプルの膜の表面で焦点を合わせ、
また、別の単色光はサンプル膜の内側の面、つまり金属の表面で焦点を合わせます。

この２つの焦点間の距離を解析することで
簡単に、非破壊で、高精度に膜の厚みを測定することが可能です！



膜の材質は、赤外線が透過できれば、
ガラス、プラスチック、ペンキ等の塗料など幅広く対応しています。


しかも、高さ分解能10nm、精度は0.5um以下です！！




以上、今回は「三次元測定機で厚み測定」をお届けしました。



詳細な資料もご用意しておりますので、
「表面に貼った膜の厚み、厚みムラ」で測定のお悩みがございましたら
是非一度、弊社にご相談下さい。

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A.T