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Werth社製 マルチセンサー式三次元測定機 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「高鍋鮎美の三次元測定機って何なの？？」 
2018年2月7日号　VOL.058 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
X線CTスキャンによる精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
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こんにちは。営業の高鍋鮎美です。 
 
弊社ではX線CT装置TomoScopeやCorningTropel社製の平面度測定機を 
主力製品としてご紹介したりご評価頂いたりしていますが、 
年末から何故か有難いことにWerth社製三次元測定機のお問合せが増えています。 
 
そこで、今回はWerthの三次元測定機についてご紹介したいと思います。 
 
Werthはドイツの三次元測定機メーカーで、 
特にドイツ国内においては主要な展示会で一番大きなブースを出す位、 
知名度も実績もある測定機専門のメーカーです。 
 
日本では国内の大手測定機メーカーさんが色々いらっしゃって(言い訳ですが)、 
なかなか「皆様ご存じ」という程の知名度はありませんが、 
ご選定の中で色々情報収集されると、 
「Werthの装置は精度が良い」 
「画像処理の技術で色々ノウハウがあるらしい」 
という噂をお聞きになるようで、 
どなたがそんな有難い話をしてくれているんだろう…と思います。 
 
Werthという名前がそもそも読みにくく、 
ドイツ語では「ベアト」という発音になりますが、英語だと「ワース」になり…。 
弊社は「ベアト」で推していますが、覚えて頂ければどちらでも大丈夫です。 
 
 
さて、Werthについて、先程ドイツのメーカーだとご紹介しましたが、 
カメラを使った画像処理の技術が強みで、 
マルチセンサー式三次元測定機のVideoCheckシリーズとScopeCheckシリーズ 
を主力製品としています。 
(最近ではX線CT装置のTomoScopeも主力ですが、いつもご紹介しているので 
 今回はTomoScope以外でご紹介します。) 
 
マルチセンサー式三次元測定機というのは、 
三次元測定機にカメラや接触式プローブ、レーザー等の非接触式プローブ等 
色々と搭載して、1台で図面指定されている測定項目を全て測定する 
というモデルです。 
 
先にも言いましたがWerthがカメラの技術が得意なので、 
まずは画像処理で測定出来る項目はカメラを使いますし、 
カメラでは測定取得出来ないような箇所は接触式やその他特殊なプローブを 
使って測定します。 
 
異なるプローブで測定しても、測定結果はまとめて出てくるので、 
プローブ毎に別の装置を使うよりも効率的で分かりやすいです。 
 
また、ここがWerth装置のポイントのようなのですが、 
特にVideoCheckは軸の精度が良いので、大きな形状(距離)を測定した際の 
精度が他の装置に比べてかなり良いそうです。 
 
実際に装置スペックでも最高精度のVideoCheck UAであれば以下の通りです。 
 
・E1xy (0.25+L/500) μm 
　※E1xyは装置の三次元空間の中でX軸方向かY軸方向どちらか1つを 
　　動かした時の精度。Lに動かく処理をmm単位で入れて算出。 
　　例えば100mmの距離を測るなら0.25+100/500=0.25+0.2=0.45μmとなる。 
 
・E2xy (0.50+L/300) μm 
　※E2xyは装置の三次元空間内でX軸、Y軸方向どちらも動かした時の精度。 
　　(ステージ平面上を斜めに動かす場合) 
 
・E3 (0.75+L/300) μm 
　※E3は装置の三次元空間内でX軸、Y軸、Z軸全て動かした時の精度。 
 
 
特にE3は精度を出すことが難しいらしく、なかなかE3としてスペックを 
設定している装置は少ないと思います。 
(Z軸の精度とX軸＋Y軸の精度を分けていることが多いです。) 
 
 
Werth社ではお客様に長く良い精度で装置を使って頂く為に、 
まずはベースとなる装置本体の構造にこだわっています。 
 
更に特にカメラを用いた測定においては、 
レンズ回りやライティング、ソフトウェアの処理で様々な特許を持ち、 
お客様の測定ご要望が難しければ難しいほど、その細かな技術が 
重要さを増してきます。 
 
 
Werth装置のカタログとセンサー関連の資料をホームページに載せましたので、 
ご興味ある方はご覧頂ければ幸いです。 
 
装置カタログ
センサー資料

 
今週も、最後までお読み頂いて、ありがとうございました。 


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A.T