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エスオーエルから「厚み測定」方法の新しいご提案

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2010年6月30日号　VOL.019

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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以前何度かご紹介致しましたレーザー垂直入射方式の
平面度・平行度・高さ測定機FlatMaster MSPについて
新しいラインナップが加わりました。

いままでは平面度と平行度、高さ（段差）の測定が１台で測定可能でしたが、
この機能に加えて、厚みの測定ができるMSPが登場しました！

MSPは60秒ほどで全面測定が可能な垂直入射方式の干渉計です。
最大でおよそ78万点のデータが得られます。
表面と裏面の面情報を測定することで面間距離がわかります。

一般的に厚みはノギスやマイクロメータ、ダイヤルゲージ、
三次元測定などで測定可能です。

ノギスは分解能が0.05mm、マイクロメータは0.01mmです。
しかもこれらは単なる２点間距離で、点測定にすぎませんので、
基準面という概念がありません。

ダイヤルゲージや三次元測定機ならば、基準面から何点か
測定することは可能です。また分解能もミクロンレベルで測定することも可能です。
しかし、より多くの点を測定しようとすると測定に時間がかかります。
また、特にダイヤルゲージの場合は測定に人の手が介在することにより、
体温による温度変化、置き直しや位置の移動による誤差などが無視できず、
最終的に何を測定しているのか分からなくなってしまうこともあります。

MSPの場合は基準面を任意に決定することができます。また、60秒ほどの
測定時間で片面78万点のデータを測定することができますので、
面間距離、それらの面の平行度、面情報としての平面形状まで確認することができます。


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T.S