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干渉計で厚み測定

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2010年9月30日号　VOL.026

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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ウェーハの製造工程では研磨しながら平面度と厚みを
管理したいという工程上の必然的なご要望があります。
従って、平面度は平面度測定機で管理して、
厚みは厚み測定機で管理することになります。

しかし、平面度と厚みを同時に測定することができれば、
工程は半減することができます。

トロペルの斜入射式干渉計FlatMasterシリーズは
平面度と厚みを同時に測定することができる平面度測定機です。

FlatMasterは独自の位相シフト法で干渉縞を走査します。
この独自の位相シフト法は参照平面とウェーハとのギャップの
間隔が大きくなればなるほど、走査速度も速くなるという
特徴があります。

この特徴を利用すれば、ギャップ間隔を測定することが可能です。
いま基準になるウェーハがあるとします。
この基準のウェーハと参照平面とのギャップをFlatMasterで
測定しておきます。

次に厚みを測定したいウェーハを測定します。
このときの参照平面とのギャップを測定すれば、
基準のウェーハのギャップ測定結果との比較で
厚みを知ることができます。

また、FlatMasterはTropel Measurement Software（TMS）という
ソフトで制御されています。一度、基準のウェーハと参照平面との
ギャップを測定してしまえば、TMSがギャップとウェーハの厚みを
覚え込みます。あとは測定したいウェーハを測定さえすれば、
平面度も厚みも同時に測定することができます。



ウェーハの平面度と厚みを同時に測定できる、
トロペルの斜入射式干渉計FlatMasterシリーズは
弊社にデモ機がございます。
サンプル測定、デモ測定などご希望の方は
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T.S