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ウェーハチャックと摩耗

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2011年3月30日号　VOL.036

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皆様、こんにちは！

今回はチャックと摩耗についてお話ししたいと思います！


弊社の全面吸着チャックは中心から同心円状に吸着面があり、
外周0.55mmから中心に向かって吸着しているため、
ウェーハ外周部が反力によって持ち上がることが少ないデザインです。

ウェーハとの接触面積は、
弊社のチャックと一般的なピンチャックの両方共、全面積の約3％です。
従って、ゴミの影響はピンチャックと同等です。


弊社の全面吸着チャックは同心円状になっており接触面が連続しています。

一方、ピンチャックは1つ1つの接触面が孤立しているため、
エッジ部分が弊社のチャックより多くなります。
そのため、ピンチャックは弊社のチャックより摩耗しやすいと考えられます。
従って、硬い材質を測定する際は特に配慮する必要があります。


さらに、弊社の全面吸着チャックは、例え、多少摩耗しても補正することが可能です。

チャック納入時に基準となるウェーハを使用し、
NTV測定しておけば、いつでもその基準ウェーハを測定することによって、
摩耗の影響を自動補正することが出来ます。

また、弊社の干渉計では微小うねり解析を用いる事によって、
ウェーハ裏面のゴミの影響かチャックのキズの影響かどうか判断する事が出来ます。
その理由として、任意に解析条件を設定可能なため、大きなうねり成分を除去し、
常に1μmレベルの平面度のウェーハと同様にキズ或いはゴミの影響
をチェック出来るからです。


最近は、ウェーハ測定のお問合せが増えてきています。

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お待ちしております！！！


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F.N