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炭化ケイ素（SiC）の測定

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2011年4月30日号　VOL.038

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆様、こんにちは！

この度の地震で、被災されました方々に、心よりお見舞い申し上げます。
また、余震等で体調を崩されている方々もいらっしゃると伺います。
季節の変わり目でもあります。
くれぐれもご自愛くださいますようお祈り申し上げます。


微力ながら、弊社も節電に取り組んでおります。

最近は世の中の動向として、省エネの流れが一層加速しているようです。

弊社に関連することとしては、
エネルギー効率の改善、CO2排出量の低減などに大きく貢献していくものとして
パワー半導体が話題になっています。

今回は、パワー半導体として注目されている炭化ケイ素（SiC）の測定について
お話ししたいと思います。


SiCは非常に固く、
インゴットからウェーハに切り出すのが非常に難しいと言われています。

途中で切断が止まってしまうことや、ヒビが入ってしまうことがあります。
一度に切り出せなかった場合は、ウェーハに段差が出来てしまうことがあります。


幣社の測定機 FlatMaster の機能の1つとして、
段差で局所勾配があるサンプルの形状をむやみに繋げることなく、
局所勾配の限界をソフトウェアが認識しデータを欠落させる機能をもっています。

もし、この機能が無い場合、実際よりも小さな測定値を出力することになります。

従いまして、FlatMaster は測定信頼性の高いデータのみを表示できるのです。

欠落があれば、条件を変えるなどして、対策を打つことができますが、
誤ったデータをあたかも正しいデータのように出力してしまう一般的な干渉計では、
後から大変なことになることがあります。


FlatMaster は、スライスウェーハだけでなく、
ラップウェーハやポリッシュウェーハも測定する事が可能です。

更に、ウェーハ測定では厚み測定の需要がでてきています。
FlatMasterでは、ウェーハの厚み測定も可能です！

厚み測定はウェーハを全面吸着させて測定します。
一回の測定で、厚み (Thickness)、厚みムラ (TTV)、全面吸着させた時の平面度 (NTV)
を測定する事が可能です！


最近は、MSPという新たな測定機の開発も進み、
チャックレスで厚み、厚みムラ、平面度が測定可能です。


サンプル測定やデモ測定も承っております！
弊社エスオーエルまでご連絡下さい！


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F.N