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サイト解析について

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2011年10月30日号　VOL.048

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皆様こんにちは!

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今回は『サイト解析』についてお話したいと思います！

サイト解析は主にウェーハの測定項目のLTV(Total Indicated Reading)や
LTIR(Local TIR)の際に使われる解析です。

LTVは、各サイト内における基準面からの最高点と最低点の距離(絶対値)
の和です。基準面として、チャックに全面吸着したウェーハ裏面に平行な面を
とっています。
LTIRとは、各サイト内における基準面からの最高点と最低点の距離(絶対値)
の和です。基準面は表面から算出されます。LTVの基準面は裏面で、LTIRの
基準面は表面です。

裏面・表面基準には、サイト焦点調整機能(Refocus)があります。
その中には、下記の3つの調整機能があります。
･Center Point Refocus：サイト内1点の平均を基準とします。
･Corner Average Refocus：サイト内の角数点の平均を基準とします。
･Side Average Refocus：サイト外周の平均を基準とします。

また、表面基準には、サイト焦点チルト調整機能(Relevel)があります。
その中には、下記の3つの調整機能があります。
･Site 3 Point Relevel：サイト内の数点の平均を基準とします。
･Site 4 Point Relevel：サイト内の角数点の平均を基準とします。
･Site LS Relevel ：サイト内全面の最小二乗平面を基準とします。

FlatMasterで、様々な露光装置のレベリング機構と同様の解析を行う
ことにより、実際の露光条件での平坦度解析をすることができます。

また、FlatMasterではサイトの形は正方形だけでなく長方形にも出来
るんです。サイトのサイズは0.5mmから可能です。

FlatMasterには様々な機能があります。
こんな測定項目はあるの？というようなものがございましたら、
お気軽に弊社までご連絡頂ければと思います！
お待ちしております！！！


最後まで見てくださった方々、ありがとうございました！
また、来月末にお会いしましょう！

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F.N