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2013.04.30
D-0069. FlatMasterでの平行度測定! — FN
◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ FlatMasterでの平行度測定! 発行:エスオーエル株式会社 https://www.sol-j.co.jp/ 連載「知って得する干渉計測定技術!」 2013年4月30日号 VOL.069 平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 無料にてメールマガジンを配信いたしております。 ◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇ 皆様こんにちは! (( メルマガ登録会員の皆さまは、エスオーエル名物「○○○ごと」をご覧頂けます! )) 今月は『FlatMasterでの平行度測定!』についてです。 FlatMasterは“平面度を測定する”のがメインの装置ですが、 それだけではありません。平行度の測定も可能です。 但し、平行度の測定には条件があります。 ・サンプル表面とサンプル表面の距離が400um以下であること。 ・サンプルの平面度が良いこと。 ・サンプルの面状態が粗面ではないこと。 一括全面照射で約20万点のデータが取得でき、測定~解析時間は 約1分です。サンプルをセットし、測定ボタンを 押せば測定から解析・データ出力までできます。 実際測定した結果を載せたいのですが、メールマガジンに 載せられないのが残念です。 反響があれば、ホームページに載せることも検討します! 平面度だけでなく平行度も測定出来るマルチな戦士『FlatMaster』、 是非検討してみては如何でしょうか? 最後まで見てくださった方々、ありがとうございます! 次回のメールマガジンでお会いしましょう! -- F.N