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Microwaviness 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」 
2014年10月22日号　VOL.087 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
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 皆様こんにちは。 
 
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今月は【Microwaviness】についてです。 
2年半前に【FlatMasterの知られざる機能 Microwavinessの世界】と 
いう題名で、Microwavinessについてお話しました。覚えていますか？ 
 
復習として・・・ 
表面の形状は三角関数の合成で構成され、色んな三角関数の形状を 
持った波が足し合わされて出来ているのです。波長の小さいものから 
大きなものまで、大きく分けると３つの領域に分類する事が出来ます。 
 
・表面粗さ   (Roughness) 
・表面うねり (Microwaviness) 
・全体の形状 (Form) 
 
Microwavinessは中間の波長領域で評価され、FlatMasterは波長領域を 
任意に設定して解析する事が可能なのです。 
 
思い出しましたか？？？ 
 
最近、研削によるウェーハの平坦化加工が盛んに行われているようです。 
 
Microwavinessは非常に役立ちます。 
研削によるバックグラインディング後ウェーハの形をみると、研削痕が 
うっすらと確認できます。 
うっすらとは確認できますが、大きなうねりの平面度に埋もれてしまう為、 
どの波長レベルの加工痕なのかは、判断が難しいです。 
 
しかし、MicroWaviness解析であれば、小さな表面のうねりのみを抽出 
することができるのです。この機能を使用すれば、研削痕減少のための 
手がかりになるかもしれませんねー。 
 
また、ウェーハで両面を研磨して平坦化する事があります。 
両面に表面うねりがあるとしたら、裏面を全面吸着すると裏面の形状が 
表面に転写されてしまいます。従って、表面の平坦化加工の効果を見る 
ためには、全面吸着測定だけでは不十分なのです。 
 
その時には、1点吸着もしくは非吸着の状態で測定すれば良いのです！ 
裏面の影響を考えることもなく解析できます♪ 
 
その他にも沢山のFilter機能もついており、色々な解析ができる装置は 
なかなかありません！大きいうねりの表面形状だけでなく小さいうねり 
形状まで確認できるのはTropelのFlatMasterのみです！！！ 
 
もちろん、表面粗さ測定機も弊社では扱っています。 
 
表面粗さだって表面うねりだって全体の形状だって、弊社の測定機では 
見れちゃうんです。網羅しています！！！ 
 
平面度でお困りのものがありましたらお気軽に弊社までご連絡ください♪ 
 
 
 最後まで見てくださった方々、ありがとうございます！ 
 今後も、メルマガを配信します♪ 楽しみにし下さいね☆★ 
 次回のメールマガジンまたは間近でお会いしましょう！ 
 また来月☆ 


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F.N