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MSPでの透明品測定 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」 
2016年9月28日号　VOL.116 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、 
無料にてメールマガジンを配信いたしております。 
 
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皆様こんにちは、営業技術グループの並木です。 
9月も末になりましたが、相変わらず暑い日が続いていますね(汗) 
 
天気も良いのに。。。洗濯機壊れました。まだ、5年しか使って 
いません。10日間、洗濯機がない生活をしました。洗濯物が溜まる 
につれてイライラも増えるという、辛い日を送りました。 
 
最近のドラム式洗濯機は高価なものだと18万します。 
かっかえないですよ。18万。。。 
10日間待ち、サービスマンに来てもらい修理してもらいました。 
よかったです！！！洗濯機の素晴らしさを感じた9月でした。 
 
それでは今週のメルマガです。 
今回のテーマはMSPでの透明品測定です。 
 
MSPで透明品をセットすると、フリンジ(干渉縞)が3つでてきます。 
見た目には2つです。 
 
1つ目は、1次フリンジ＝表面の平面度 
2つ目は、2次フリンジ＝厚みムラ、厚み 
3つ目は、3次フリンジ＝裏面の平面度 
 
1回の測定で上記3つのデータを得ることができます。 
サンプルに照射するレーザーの波長を変えていくと、フリンジが 
流れていきます。測定が終わるまでに各フリンジがどれぐらい 
動いたか、装置が解析します。 
 
解析すると、周波数帯が3つ出てきます。 
どのフリンジがどの周波数帯かを確認するためには、サンプルと 
参照平面のGap(間隔)を広げるもしくは狭めることにより、1次 
フリンジと3次フリンジの周波数帯が移動します。2次フリンジは 
サンプルの表面から反射した光とサンプルの表面から反射した光 
での干渉縞なので、Gapを変化させても周波数帯は移動しません。 
 
2次フリンジにて正確な厚みムラや厚みを出力するためには、より 
正確な屈折率が必要です。屈折率の値によって厚みムラや厚みは 
変動してしまいます。 
 
例えば、鏡面仕上げのある基板t=約130umのサンプルを測定したと 
します。 
n=1.50の時に厚みが134.5umに対して、n=1.55の時には厚みが 
129.9umと出力されます。屈折率が0.05異なるだけで、約4um分、 
数値が変わってしまいます。 
 
従って、2次フリンジ解析で厚みや厚みムラを解析するのであれば、 
屈折率はとっても大切になってくるのです。 
 
MSP、奥が深いですね。。。 
1回の測定で、両面の平面度と厚み、厚みムラが測定できれば、 
時間の短縮化になりますので、コストも下がります。 
 
こんなサンプルなんだけど、測定してみたい！ 
というような要望があれば、エスオーエルにご連絡ください♪ 
 
 
本日はここまで！！！ 
いつも最後まで弊社メールマガジンを読んでくださった方々 
本当にありがとうございます！ 
 
以上、営業技術の並木でしたm(_ _)m　　　　　●また来月●