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ウェーハの反り測定について 
 
発行：エスオーエル株式会社 
https://www.sol-j.co.jp/ 
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」 
2018年1月24日号　VOL.138 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、 
無料にてメールマガジンとして配信いたします。 
 
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皆様こんにちは。営業技術グループの桑野です。 
 
 
2018年になりましたが、楽しいお正月も過ぎ、1月もあっという間に 
終わりが近づいてきました。皆様如何お過ごしでしょうか？ 
 
年末年始といえば大掃除や里帰り等、沢山することがあり、 
結局休んだ感じがしません。 
私は福井出身なので、帰るにはやはり電車を利用することになります。 
北陸新幹線は金沢止まり。東海道新幹線も米原止まりです。 
そこから先は、『しらさぎ』や『サンダーバード』という非常にクールな 
名前の特急に乗り換える必要があります。 
どちらを選ぶか...私が選んだ答えは、『帰らない』でした。 
おかげさまで、今年の正月はよく休めたように感じます。 
 
 
さて、本題に移りたいと思います。 
今回は、よくお客様よりご質問をいただく、ウェーハの反り測定についてです。 
 
特に、反り測定時の保持方法については今でも頭を悩まされている方が 
多いのではないでしょうか？ 
水平保持と垂直保持について過去の記事がございますので、興味のある方は 
そちらもご覧ください。 
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」 
VOL.098　ウェーハの反り測定と保持方法 
VOL.099　ウェーハの反りと保持方法　続編 
VOL.100　ウェーハの反りと保持方法　続編その２ 
 
ウェーハの反りが大きすぎると吸着不良が起き、搬送エラーが発生。 
せっかくTTVが良くても、反りが大きすぎて搬送できず、搬送エラーが 
多発する、なんてことが起きると、反り測定の要求が当然出てくる。 
また、実際の搬送も水平保持で行われるわけだから、水平保持の方がより 
実際の状況に合っており良いのではないか、という内容でした。 
 
実際に、私が入社したばかりの頃、垂直保持の姿を見てこう思いました。 
（非吸着といいながら吸着しているじゃないか…）と。 
また、吸着する箇所についても、中心１点のものもあれば、弊社のタイプですと 
中心３点であったり、吸着口の径も異なったりと、各社様々です。 
どのように測定するべきか、明確になっていないのが現状です。 
 
VOL.099 にもあるように、自重による変形量はウェーハの径や厚みに 
大きく依存します。つまり、径が大きくなり厚さが薄くなるほど、 
水平保持と垂直保持での相関をとることは難しくなります。 
 
これではウェーハの反り測定に関わる方々が頭を抱えるのも納得です。 
そんな時は、一度弊社にご相談ください。 
弊社では水平保持と垂直保持のそれぞれの装置を扱っております。 
特に水平保持のものは、量産品の測定に最適なUltraSortIIという自動機もございます。 
 
UltraSortIIは、初号機と比べてスループットも2倍弱の150枚/hとなり、 
カセット搭載数も4～16カセット（4カセットが標準）となりました。 
また、装置レイアウトの自由度が高く、装置に粗さ測定機等の別の装置を 
設置することが可能です。 
更に、ソフトの仕様も従来のものから大きく変更があり、操作の面でも 
自由度が高まりました。 
 
反り測定でお悩みがあれば、是非弊社まで。 
 
 
今月も最後までお読みいただきありがとうございました。 
来月も宜しくお願い致します。 
 
 
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桑野