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FlatMasterのギャップについて

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2018年9月26日号　VOL.144

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、 
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

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こんにちは。営業技術の野中です。

急に寒くなりましたね。
体調にお気を付けてお過ごしください。

SOLは皆様のおかげで忙しく、
出張も多いので誰一人体調を崩さないよう気を付けてまいります！


突然ですが、私はここ5か月ほどダイエットを行っております。

中間発表をいたしますと、、、5kg減です!!

これでもまだ入社時(3年前)の体重には戻りません！


１つ心配があります。

来月メーカのCorning Tropelに訪問するため、
アメリカに出張するのですが、

まだまだ英語を勉強中の為、
言いたいことがなかなか言葉にできません。

そのため、出されたものを断れずに全て食べてしまうのでは？
帰ってきたらダイエット前に元通りなのでは！？と、、、

事前に食べ物を断る為の英文を用意して臨もうと思います。
(もちろん仕事もちゃんとしてきます！)



本題に入ります。

今回は「Flat Masterのギャップ」についてお話しします。


Flat Masterでは、参照面となるプリズム面と、
測定面までの距離(ここではギャップと呼びます)を
約200μm(FlatMaster40は約70μm)にして測定します。

Industrial仕様であれば、
ギャップは常にハープ糸の径とほぼ等しくなります。

そのため、Referenceflatキャリブレーション(0平面補正)、
感度キャリブレーション、
測定は全て同じギャップで行うことになります。


このようにキャリブレーションは
測定する際と同じギャップで行うのが「正解」です。


Wafer仕様では注意が必要です。
Wafer仕様では、0平面及び感度キャリブレーション、
TTV測定用チャックを使用する場合には

参照面とチャック面の傾きを補正する為の
バックリファレンスキャリブレーションを
測定時となるべく同じギャップで行うことが理想です。

Wafer仕様ではこれらのギャップを
測定者が調整する必要があるため、
キャリブレーションのギャップは500μmで
測定は200μmで行ってしまうということもあり得ます。


これらのキャリブレーション時と測定時のギャップを
同じにするほうがいい理由は、
FlatMasterの平面度測定に使用する平行光が
完ぺきではないことにあります。

平行光が完璧な場合、
ギャップ200μm地点と500μm地点の
波面の曲率半径は両者とも等しく無限大です。

一方、わずかに広がっている場合、
ギャップ200μm地点の波面は
500μm地点の波面の曲率半径よりも小さくなります。


一番分かりやすいのがReferenceflatキャリブレーションで、

完璧でない平行光によって0平面であるReferenceflatを
測定すると、平面度は0にはなりません。

このReferenceflatの測定結果は、
波面の曲率半径(ギャップによって変わる)によって異なるのです。


その他のキャリブレーションの結果もギャップにより変わります。

あれ？TTVの結果がおかしいな？
と思ったらこのバックリファレンスキャリブレーション時の
ギャップが原因かもしれません。


新しく装置をご購入されるお客様には、
納入時にこれらの内容も含めオペレーショントレーニングをしています！
安心してくださいね。


最後までご覧いただきありがとうございました。


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E.N


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◎展示会に出展します◎

・JIMTOF2018（第29回日本国際工作機械見本市）
　　　日程：11/1(木)～11/6(火)
　　　会場：東京ビッグサイト東7ホール【E7007】　
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