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新しいデモ機 FlatMaster-Semi Auto Wafer

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2019年06月26日号　VOL.151

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。 
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、 
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

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こんにちは。

今日は、エスオーエルの変化についてお話ししようと思います。
今年度に入ってから、エスオーエルに5人の方が入社してこられました。
また、これから3人入社することが決まっています。
年齢も、出身国もさまざまです。

中国人の方に中国のどこら辺の出身ですか？と尋ねると、
中国の国の形を鳥に例えて、鳥のお腹ら辺、頭ら辺などと
表現するということが判明しました。
中国は広いですので、みんながみんな鳥で表現するかはわかりませんが。。。


中国と比べると凄くちっぽけな話(面積で言うと、約1/1500の話)になりますが、
私の出身地の群馬県も、県の形を鶴に例えます。
例えば、暑くて有名な館林市は、鶴のクチバシにあります。
群馬県民は全員(私の感覚だと99.9%)、群馬県を鶴だと思っています。

『上毛かるた』という、群馬県民のほとんど(私の感覚では95%)が、
読み札を暗記しているかるたがありますが、
そこでも「つる舞う形の群馬県」という札として登場し、
そして、札の中でも特別扱いを受けています。

かるた開始時に2回空読みされ、そして最終的に取った札の枚数が同じな場合、
この札を取ったほうが勝ち！というルールがあります。


いつのまにか、地元トークになってしまいましたが、
お仕事の話に戻ろうと思います。
もう一つの変化です。

新しくデモ機が入ってきました！！
FlatMaster-Semi Auto Waferという機種です。

FlatMaster-Semi Auto Wafer 製品ページ
 
UltraSortという機種の、自動搬送ロボットがついていないバージョンです。
メルマガで何度か登場してきたと思いますが、再度ご紹介します。

特徴は下記のとおりです。
 
1. ウェーハ測定用

2. ウェーハ水平置き
 
3. ユニバーサルチャック採用
→ 1台で平面度(SORI等)、厚みむら(TTV等)測定対応
→ 1台で2, 4, 5, 6, 8インチ対応
※測定項目、ウェーハサイズによって
　チャックを変える必要はありません。
 
4. SORI測定完了後、続けて厚みむらを測ることが可能。 
→1枚あたり約20秒(SORI＋TTV)で測定可能です。
 
5. TTV測定のRepeatabilityの向上 
→現在、具体的な値を言えなくてもどかしいのですが、
　FlatMasterと比較し、チャック機構の違いにより、
　どのくらいReperabilityが向上したのか、
　デモ機でテストしてみようと思っています。
 
6. 自動搬送ロボットを後から追加しUltraSortにすることも可能
 
Semi Autoってどこら辺がAuto?と問われますと、
レシピを選び、チャックにウェーハを乗せるところ
(アライメント用の治具を使います)は人間がやります。
 
プリズムに対するチャックのギャップ調整、
非吸着(SORI測定時)、吸着(TTV測定時)の切り替えは
自動で行なってくれます。

FlatMasterでは、様々なインチサイズの
ウェーハの厚みムラを測定する場合には、
サイズごとにチャックを購入してもらう必要があります。
チャックを揃えるより、SemiAutoを購入したほうが
安い場合もあります。
 
気になる方はお問い合わせをお待ちしております。
 

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E.N