◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇
 
FlatMasterのフリンジスキャン、ガルボモータの制御
 
発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」
2020年3月18日号　VOL.157
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。
 
◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇
 
 
 
お久しぶりです。最近コロナウイルスの話でもちきりですね。

皆様の健康と、経済への打撃が最小で収まることを切に願います。



いろいろ思い返しましたが、特に楽しい話題を持ち合わせておりませんので、

(おととい念願の串カツの食べ放題に行って、吐くほど食べたことくらいしか
思い出せません。ビュッフェスタイルのお店は、営業を控えているところも
ありますが、揚げれば全てOK！と思って行きました。

最近は、あまりセンシティブになりすぎるのも良くないという考えでおります。
この非常時だからこそ、通常の飲食、サービス業のありがたみが実感できます。)


では、本題に入らせて頂きます。



前回のメルマガ(VOL.155)で、

“ FlatMasterは干渉計の中にあるガルボと呼ばれている
　平行平面板を微小に回転させることによって干渉の条件を変え、
　縞を流す作業(フリンジスキャン)を行っています。

　縞が流れるスピードは、  

　　１縞感度(入射角度)、２ガルボの回転速度、そして３ギャップに依存します。”

と記載しました。



今回は、このガルボの回転の制御についてお話しします。

ガルボの回転速度は、ガルボを回転させるためのDCモータへの
信号のパルス幅を変えることで制御しています。

（ガルボが動くときの音をよく聞くと、ジッジッジッジ・・・と聞こえます。)


このDCモータは、900:1のギアを使用しています。

つまり、モータが900回転したときに、ガルボがやっと1回転します。

また、ロータリーエンコーダには2チャンネル、
各256つのスリットを用いていますので、
モータの回転角度の分解能は 360°÷ (4×256) ≒ 0.35°。

つまり、ガルボはその1/900の分解能: 0.35/900= 0.0004°の分解能で
回転を監視されていることになります。

凄い分解能だ！が私の率直な感想です。

SOLのメルマガでとても難しそうな計算を掲載している方もおりますが、

簡単な計算でも実際にしてみると、結果に驚くことがよくあります。



FlatMasterのフリンジスキャンは、
約0.01°/ ワンステップ の入射角度の変更のために、

0.01°以下ずつガルボを回転させる場合もあります。
(縞感度やギャップによって0.01°以下～数°) 

これだけの分解能(0.0004°)があれば、
正確にガルボを回転させることが出来そうです。



最後までお読みいただきありがとうございました。


--
E.N