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FM ウェーハチャックの組み立て
 
発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/
 
連載「知って得する干渉計測定技術！」
2022年3月9日号　VOL.180 
 
平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。
 
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初めまして。営業技術の田中です。
今月からメルマガ担当の1人になりました！
よろしくお願い致します！ 

入社から早5か月が過ぎ、
未だ学ぶことばかりで大変ですが
日々の学びを皆様に発信できればと思います。


その前にまずは少し自己紹介をします。
神奈川は相模原市の津久井という町に生まれ、
昨年までは富士山の麓で働いていました。

静岡では車で走ると楽しい道も多くあり
休日はよく山道や海岸線にドライブにいっていましたが、
埼玉は道が混むことが多く、乗る頻度が減っている今日この頃です。

仕方がないので休日の趣味は勉強になりました。
離れるとより恋しくなる富士の山と伊豆の海です。


そんなまだまだ勉強中の私ですが最近また驚くことがありました。
サンプルチャックを社内で組み立てていることです。

(てっきり製造元のTropelで組み立てた物が送られてくるものかと・・・)


皆様はFM（Flat Master）のチャックの性能について
気にしたことはありますでしょうか。
吸着部の形状はもちろん、位置決めの部品も緩みがあれば
測定に直接影響してくると考えられますね。

ホルダーの中央に位置しているこの吸着部は、
がたつきや緩みの無いよう、ねじと接着剤で固定しています。

現在の接着方法は接着剤の硬化収縮応力によって
吸着部の平面が歪まない様試行錯誤の末たどり着いた方法だそうです。

改めてマイクロ、ナノスケールの厳しさを感じます・・・・

次に位置決め部品についてですが、
ギャップ調整用のマイクロメータや左右位置決め用の
ホルダー下部のローラー等はねじで固定しています。

これらに緩みがあれば繰り返し精度が悪くなり、
特にTTV測定に大きく影響します。

これらについても組立時に吸着部の平面度と併せて
弊社で繰り返し精度を確認しておりますのでご安心下さい。


ちなみにローラー部分をよく見てみると、
片側のローラーしかガイドにはまっていませんでした。

不良品だからずれていたという訳ではなく、
精度をよくするために精密機器で頻繁に使用される
マスタースレーブ方式という位置決めなのだそうです。

皆様はこの方式ご存じでしたでしょうか。
私は知りませんでした・・・笑


チャック1つをとっても色々と学ぶ必要があり、
まだまだ知らなければいけないことがたくさんあると感じますが、
皆様にご安心して測定頂ける様精進して参ります。

チャックやそれ以外の内容についても
疑問点があればいつでもお気軽にお問合せ下さい。

ちなみに今回私が組み立てたチャックは
平面度も繰り返し精度も問題無く組み立てられました。


今回は以上と致します。
お付き合い頂きありがとうございました。


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N.T