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FlatMasterシリーズ・よくあるご質問1

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2022年9月28日号　VOL.186

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション例などをテーマに、
無料にてメールマガジンとして配信いたします。

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皆様お疲れ様です。

ここ最近、沢山の著名人の死がニュースで伝えられ、
改めて人間の命には終わりがあることと、
今こうして生きている事の有難さを認識しました。

そして30歳を過ぎたころから、
時間の流れの早さを実感し、
このままではすぐに生涯を終えてしまそうで
毎日を大切にしなくてはいけないなと思いました。

なんだか重い話になってしまいましたが、
何の話がしたいかと言いますと、
私の可愛い娘がどんどん成長しているということです！

最近では、2語を喋ることも出来ます。
それは、「ぱぱ・ぷー」です。 
この意味は、「ぱぱ、ダメ！」です。

娘は怒っているのですが思わず顔がにやけてしまいます。
そして、「ぱぱ・と・じいじ」と言っていたのを
聞いてビックリ！
「と」の使い方を知っているなんて・・・

日々学習している！！と感動する母なのでした。
いつか会話をしたいな～と思う反面、
今のままでいて欲しいとも思う。複雑な親心です。


今日は、お客様から良くある質問をしご紹介し、
ざっくりと回答していこうと思います。


Q1. 粗さは測定できますか？

　　残念ながら粗さは測定出来ません。
　　以前はFlatMaster-Raという名前の
　　粗さ測定機の取り扱いがございましたが、
　　メーカが取り扱いを中止した事により、
　　既存のユーザー様のサポートのみを行っています。

　　FlatMasterでは、横分解能が足りず、
　　短い波長の形状成分を認識できないです。


Q2. ロールオフは測定できますか？

　　残念ながら平面度測定機では
　　ロールオフが測定出来ません。

　　その名の通り、平面度を測定する物なので、
　　平面部分ではないロールオフは測定できないです。


Q3. 厚みは測定できますか？

　　測定できます！！！！
　　ここにきてやっと測定できます。
　　これは大きな加点ですね！！！

　　平面度測定に比べると精度的におまけなような
　　立ち位置ではありますが、
　　UltraSort-II や SemiAutoWafer では
　　TTVと一緒に測定可能です。



Q4. どのくらいの大きなSORIまで測定できますか？   

　　約100μmが目安ですが、形状によって
　　トライしてみないと分からない
　　というのが回答になります。


Q5. 1枚当たりの測定時間はどのくらいですか？

　　装置ごとに、ご回答します。

　　* UltraSort-II (自動機) :

　　　　・厚み無の場合 (SORI＋TTV) --- 約24秒
　　　　・厚み有の場合 (SORI＋TTV＋Thickness) --- 約30秒

　　　標準仕様でカセットを4つセット出来ますので、
　　　100枚はほっておいても測定し続けます。


　　* SemiAutoWafer (半自動機) :

　　　　・厚み測定無の場合 (SORI＋TTV)
　　　　　　　　　--- 約24秒＋ウェーハ交換時間20～30秒
　　　　・厚み測定有の場合 (SORI＋TTV＋Thickness)
　　　　　　　　　--- 約30秒＋ウェーハ交換時間20～30秒

　　　オペレータの方が、ウェーハを交換する必要があります。
　　　交換に必要な時間は、人によりますが、
　　　私の場合は20～30秒くらいかなと思います。


　　* FlatMaster-Wafer (手動機) :

　　　　・SORI測定 --- 約15秒＋ウェーハ交換時間30～40秒
　　　　・TTV測定 --- 約15秒＋ウェーハ交換時間30～40秒

　　　オペレータの方がウェーハ交換をする必要があり、
　　　SemiAutoWafer よりちょっとハンドリングが難しいです。
　　　また、SORI と TTV はチャックを変える必要があります。


貴重なお時間を割いていただきありがとうございました。


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E.N