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大きいSORIを測るオプションの開発

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2024年3月27日号　VOL.208

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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流れる季節の真ん中で、ふと日の長さを感じる今日このごろ。
みなさまいかがお過ごしでしょうか。

はじめまして、技術グループの大前と申します。
昨年9月よりエスオーエルの一員として勤めております。
この度、初めてメルマガを執筆することとなりました。

はじめましてということで簡単に自己紹介を。

あまり趣味と言える趣味はないのですが、
強いて言えばF1、テニス、バスケなどのスポーツ観戦が好きです。
眺めてばかりではなく自分でもやってみようと思い立ち、
先日、近所のテニススクールの体験レッスンを申し込んでみました。
テニスをするのは2年ぶりくらいですので非常に楽しみです。

ここしばらくは週3,4回ほどジムに通い、
重りを持ち上げてば下ろしを繰り返し、
プロテインを飲み干す日々を過ごしております。

今年に入ってからベンチプレスの進歩が目覚ましく、
半年ほど前は100kg×2回が限界だったのですが、
100kg×4回を達成し、5回が目前に迫っている状態にあります。
何事も向上を感じられるのは嬉しいことです。


さて、たしかな成長を遂げている私の筋肉ですが、
弊社装置も少しずつ成長しております。

これまで Tropel の FlatMaster シリーズで測定できる
最大の SORI はおよそ 100～200μm とお伝えしておりました。

　　実際には局所的な勾配によって測定の可否が決まるため、
　　これより小さいSORIが測れないこともあれば、
　　より大きいSORIが測れる場合もあります。


しかし、測定方式を見直すことにより、
さらに大きなSORIの測定に成功しました!

この方法で測定するにあたり、いくつか条件があります。

　1. 手動による搬送のみ (自動搬送は難しい)

　2. SORIのおおよその値がわかっていること

の2点です。


それぞれ解説いたします。

まず 1. 手動による搬送のみ という点ですが、
あまりに大きい SORI の場合、
ロボットによる吸着ができない場合があるため、
US-II を導入いただいている場合であっても
ウェーハを手で置く必要があります。

SAW や FM-W をご利用いただいている場合は
通常と変わりありません。


次に 2. SORIのおおよその値がわかっていること についてですが、
FlatMaster シリーズは通常、プリズムとウェーハ表面の
ギャップを 200μm に設定しております。

SORI が 200μm を超える場合、
チャックとプリズムを近づけた際に
ウェーハがプリズムに接触してしまいます。

このため、おおよその SORI の値を入力していただき
(FM-Wの場合はピンを長めに出していただき)、
接触を避ける必要があります。


上記2点に留意する必要がありますが、
これまでは欠落が発生してしまい測定できなかった、
およそ 500μm の SORI を測定することができました!

もし、一部欠落が起こってしまった場合であっても、
ゼルニケ多項式により形状を補完することが可能です。


当測定方式ですが、
今後、オプションとして追加することを検討しております。

導入にあたり、
運用方法や最適な測定条件など
まだまだ詰めるところがあり、
明日から即導入!というわけにはいきませんが、
すでに納入済みの装置であっても導入可能ですので、
気になる方は弊社HPの問い合わせフォームや
弊社営業までお気軽にお問い合わせください。


今回は以上です。

花粉が増えてきたのか、
目薬が手放せなくなってきました。

私も数年前では花粉症とは無縁の生活を送っていたのですが、
年々症状が表れてきました。

みなさまもご自愛ください。


--
K.O.